潔凈室(Clean Room)亦稱為無塵室或清凈室,是將一定空間范圍內(nèi)的空氣中微粒子、有害氣體、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在空氣條件如何變化,其實(shí)內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)。
潔凈室主要控制項(xiàng)目:
1、能除去空氣中飄游的微塵粒子
2、能防止微塵粒子的產(chǎn)生
3、溫度和濕度的控制
4、壓力的調(diào)節(jié)
5、有害氣體的排除
6、結(jié)構(gòu)物與隔間的氣密性
7、靜電的防制
8、電磁干擾預(yù)防
9、安全因素的考慮
10、節(jié)能的考量